流量傳感器將測量到的實際值饋送到電子控制部分與面板設置值比較，利用兩者間的誤差控制伺服閥門來調節吸入和呼出氣體流量；在吸氣系統前端的空氣和氧氣流量傳感器生成的信號能幫助微處理器對閥門進行控制，以提供病人所需要的氧濃度；流速和流量的檢測值還直接影響到呼氣與吸氣時的切換、分鐘通氣量上下限的報警、流量觸發靈敏度、氣流實時波形和P－V－環的監測顯示等等。
流量傳感器具有多種分類，常用節流式、速度式、容積式和電磁式。
一、節流式。在被測管道上安裝一節流器件，如孔板、噴嘴、靶、轉子等，使流體流過這些阻擋體時，根據流體對節流元件的推力和節流元件前后的壓力差，來測定流量的大小。
1、壓差式流量計。精度稍差，但結構簡單，制造方便，是一種常用的流量測量儀器。
2、靶式流量計。經常用于高粘度的流體，如重油、瀝青等流量的測量，也適用于有懸浮物，沉淀物的流體。
3、轉子流量計。轉子放在一圓錐型測量管道中，當被測流體自下而流入時，轉子前后產生一壓差，轉子平衡位置的高低反映流量的大小，用電路把轉子的位置轉換成電信號，反映了流量大小。
二、速度式。常用的是渦流流量計。
為了提高測量精度，在渦輪前后均裝有導流器和一段直管，入口直段的長度應為管徑10倍，出口長度應為管徑的5倍。渦輪流量計線性好，反映靈敏，但只能在清潔流體中使用。
光纖式渦輪傳感器具有重現性和穩定性能好，不受環境、電磁、溫度等因素的干擾的優點，顯示迅速，測量范圍大的優點，缺點是只能用來測量透明的氣體和液體。
三、容積式。通常有橢圓齒輪流量計，只要橢圓齒輪加工準確，防止腐蝕的磨損，則可達到很高的測量精度，所以經常用作為準確測量用，該流量計經常用于高精度的流體測量。
四、電磁式。常用在測量導電液體流量上。優點是管道中不設任何節流元件，因此可以測量各種粘度的導電液體，特別適合測量含有各種纖維和固體污物的腐體，此外對腐蝕性液體也適用。除了測量管中一對電極與流體接觸，沒有其它零件接觸，工作可靠，精度高，線性好，測量范圍大，反應速度又快。
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